化学分析のための電子分光装置(ESCA) VG製
X線光電子分光法(XPS)や電子エネルギー損失分光法(EELS)による測定が可能。
現在、試料の清浄化やSTMの測定が可能なチェンバーを追加するため改造中
電子分光器
EELS用モノクロメータを備えたメインチェンバー
