液体ヘリウムフロー式クライオスタット（APD社ヘリトラン）で冷却することにより、低温でLEEDパターンの観察が可能な装置。

Si(001)表面の相転移実験に使用している。

現在のところ最低温度は約20Kだが、現在10Kでの測定が行えるように改良中。

室温からの輻射熱を完全に遮れば 5 K 程度まで冷却可能。

将来的にはREMPI測定も行えるようにする予定である。