室温でのみ測定可能なAFM/STM装置（独オミクロン社製）の外観

正面左のフランジはLEED/AES装置、AFM/STMユニットは右の窓から見える。

試料処理用の加熱機構、イオンガン、ガス導入系を備える。
AFM/STMユニット

除振台（エディカレントダンパー）により周囲の振動の影響を除去する。

オングストロームの分解能で測定可能。

分解能を落せば、5ミクロン四方の面積まで測定可能

現在はAFMを用いて「鏡面反射表面の作成」実験を行なっている。