第４回「イオンビームによる表面・界面解析」特別研究会

　　　　主催：　応用物理学会・薄膜表面物理分科会
　　　　共催：　日本物理学会
　　　　協賛：　日本表面科学会、原子衝突研究協会

　日時：　平成１５年１２月１９日（金）　〜　１２月２０日（土）
　場所：　理化学研究所・統合支援施設２階大会議室　
　内容：　低・中・高エネルギーイオン散乱による固体表面・界面の分析と
　　　　イオンビームと固体表面との相互作用。

　世話人：山崎泰規（東大・理研）（代表）
　　　　　吉本　護（東工大）
　　　　　小林　峰（理研）
　　　　　森田健治（名城大）
　　　　　木村健治（京大）
　　　　　金子敏明（岡山理大）
　　　　　越川孝範（大阪電通大）
　　　　　福谷克之（東大）

　参加費：無料

プログラム

１２月１９日（金）

13:00
　　山崎泰規　（東大院総合・理研）　
　　開会の辞

13:00-13:30*
　　住友弘二、Zhaohui Zhang、中村淳、尾身博雄、荻野俊郎（ＮＴＴ物性基礎研）、
　　名取晃子（電通大）
　　MEISとSTMによる表面応力・歪の異方性の観察

13:30-13:50
　　鈴木涼，Markus Wilde，松本益明，福谷克之（東大生産研）　
　　Y超薄膜の水素化と脱水素化

13:50-14:10
　　土屋 文、永田 晋二、大津 直史、藤 健太郎、四竃 樹男（東北大金研），
　　森田 健治（名城大）
　　黒鉛にイオン注入された水素同位体の高エネルギーイオン衝撃脱捕獲

14:10-14:40*
　　片山光浩（阪大工）　
　　In Situ Analysis of Surface and Subsurface by CAICISS

14:40-15:00
　　作田寛明, 中田征志, 山中良友, 河野裕, 岩田史郎, 倉井聡, 田口常正（山口大工）
　　高分解能ラザフォード後方散乱によるInGaN極薄膜中Inの熱拡散挙動の調査

15:00-15:20
　　森田健治（名城大理工）、Elena Gridneva（モスクワ物理工大）　
　　keV He+イオンの絶縁体標的からの後方散乱イオン収率

15:20-15:50 coffee break

15:50-16:20*
　　松尾二郎、瀬木利夫、青木学窓（京大工、量子理工学セ）
　　クラスター衝突現象の特異性とそのナノプロセッシングへの応用

16:20-16:40
　　星野靖、松本紳吾、城戸義明（立命館大理工）
　　6H-SiC(0001)- √3×√3表面上における極薄Ni膜のエピタキシャル成長

16:40-17:10*
　　東俊行，田沼肇，奥野和彦，小林信夫，城丸春夫（都立大理）渡辺郁男 （東芝）
　　液体窒素冷却型都立大静電リングの現状と実験計画

17:10-17:30
　　菅　武、安江常夫、越川孝範（大阪電通大エレ研）
　　低エネルギーイオンの中性化率の角度依存性

17:30-17:50
　　Gero Herrmann (電通大物理)，岡田美智雄(阪大理)，村田好正(東大生研)
　　Pt(111)表面で散乱するhyperthermal イオンのエネルギー分布
17:50-18:10
　　岩村康弘、伊藤岳彦、坂野充、坂井智嗣、栗林志頭真（三菱重工先進研）
　　重水素透過によるPd多層膜上での元素変換の観測

18:20-20:00 懇親会　(広沢クラブ南会議室)

１２月２０日（土）午前

9:00-9:30*
　　加藤政彦（名大工）、左右田龍太郎（物材機構）
　　絶縁体における低速水素イオンの電子励起とフォノン励起

9:30-9:50
　　本橋健次、鶴淵誠二、纐纈明伯（東京農工大工）
　　低エネルギー多価イオン衝突によるSiC(0001)表面からの２次イオン放出過程

9:50-10:20*
　　中嶋 薫、羽野仁彦、城森慎司、鈴木基史、木村健二（京大）
　　高分解能RBS/channelingを用いた表面・界面近傍の格子ひずみ測定

10:20-10:40
　　海堀　裕二、根引　拓也、成沢　忠（高知工科大）
　　チャネリングRBS/PIXE分析による希薄磁性半導体の結晶評価

10:40-11:00 coffee break

11:00-11:30*
　　岩木正哉（理研）
　　イオンビームを利用したイオン注入表層の解析

11:30-11:50
　　岡沢哲晃、中川佳則、城戸義明（立命館大理工）
　　NiO(001)表面構造と格子ダイナミクスの温度依存性

11:50-12:10
　　小林峰、霜田進（理研）
　　3D-MEISの開発

12:10-12:30
　　根引 拓也，海堀 裕二，成沢 忠（高知工科大工）　
　　ガラスキャピラリーによるMeVイオンビームの収束

12:30-12:50
　　西垣　敏、内野直喜、藤脇英和、山田健二$、渡邉晃彦、内藤正路(九工大工，石川高専$）　
　　準安定原子脱励起スペクトルのHe＊原子入射速度依存性

*印は招待講演